二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9181741 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,可对多种材料进行一致、经济高效的处理。STRASBAUGH 6 DS-SP专为在很小的占用空间内实现最大吞吐量而设计,它利用强大的组件、精确的计算机指导和先进的过程控制算法来实现高达每小时15晶圆的吞吐量。该系统非常适合激光加工MEMS材料、半导体和太阳能电池以及光电元件等应用。6DS-SP包括一个手动加载站,它与可选的自动晶圆映射扫描仪集成在一起,可实现最佳的地下均匀性和高达0.1微米的高精度测量。该控制软件基于最新一代的高性能FEI™（聚焦静电仪器）技术，该技术能够根据需要管理晶圆的形状、尺寸和几何形状以及应用的抛光工艺参数。该单元还具有一个六轴强制振动平台，能够在减少热梯度的情况下进行小规模处理。该平台采用直观、用户友好的界面进行控制,能够在所有轴上将运动控制小至2弧秒,并具有Lap-on-Diamond抛光功能。6 DS-SP还配备了二维过程中CCD相机，用于实时表面和地下材料评估。它提供实时数据以反馈到控制子系统中。这款易于操作的工具配备了多种安全功能，如紧急停止按钮、飞溅报警器，以及用于轻松修改参数的快速释放组件。此外,STRASBAUGH 6DS-SP使用安全组件,并符合CE （Compite Europeenne）安全标准。它还包括基于软件的自动工艺控制和监控功能，以提高晶片涂层工艺的准确性和可重复性。总体而言，STRASBAUGH 6 DS-SP是一种坚固、高精度的晶圆研磨、研磨和抛光资产，可对多种基材进行可靠、经济高效的加工。通过其先进的过程控制算法、易于操作、安全特性以及对最新一代FEI技术的支持,6DS-SP非常适合各种微制造应用。