二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9210309 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是制造先进半导体和光电器件材料的最先进的"晶圆研磨、研磨和抛光"系统。它以高性能、经济高效和稳健的方式设计用于生产应用程序。STRASBAUGH 6 DS-SP是在晶圆基板上实现卓越表面光洁度的可靠工具。6DS-SP包括四个不同的阶段：研磨、研磨、抛光和二次研磨。在研磨阶段，基板用金刚石浸渍的研磨盘或机械刷子磨损，以形成具有三维结构轮廓的平面，包括小的侧翻不规则。该工艺设计用于重基板去除，以产生具有明确微观和纳米结构的初始测试条件（ITC）层。对于研磨阶段，6 DS-SP采用厚膜研磨工艺，实现明显的表面浮雕，并从晶圆表面去除不均匀、不规则的图桉。这个阶段可以提供改善的基板平坦度和微粗糙度。抛光阶段利用金刚石粘贴和/或三角形电极工艺，创建一个保形光滑、平整的表面，对总厚度变化（TTV）和根均方（RMS）粗糙度等关键参数进行精确控制。抛光工艺还能产生高反射性的表面光洁度。对于二次研磨阶段，STRASBAUGH 6DS-SP可以针对需要超高基板平整度和均匀度的精密应用进行定制。它还允许利用额外的过程，如高密度-CMP样的增长-平面化。总体而言,STRASBAUGH 6 DS-SP旨在为晶圆基板提供卓越的表面光洁度和高速计量性能。它具有多种研磨、研磨和抛光选项,具有可调参数,可用于切削边缘材料的去除和基板表面的平面化。6DS-SP是半导体和光电器件工业生产的理想选择。