二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9211915 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9211915
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CMP Polisher, 8"
Aluminum platens and lifters
Spare parts included
1996 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP是一种现代化的晶圆研磨、研磨和抛光技术设备。该系统旨在生产高性能硅片和MEMS组件，具有优越的产量和改进的器件特性和鲁棒性。STRASBAUGH 6 DS-SP由研磨抛光平台、主机箱和数字控制计算机组成。研磨抛光平台是6DS-SP单位的核心。这台机器由四个加工站组成，包括一个粗加工整理站、一个银片站、一个金刚石圆盘站和一个真空站。粗加工和整理站有一个可旋转高达250 RPM的研磨压板。压板还配备了可调节的倾斜机构，允许在不同方向和角度进行研磨和抛光。银片站设有陶瓷骑行板，用于研磨和抛光晶圆表面。最后，金刚石圆盘站装有塑化、冷却剂馈送、旋转驱动头。该站用于整理操作，可达到高达10,000 RPM的速度。该工具的主底盘由耐腐蚀不锈钢制成，设计用于耐用和在恶劣的工厂环境中可靠运行。它配备了冷却风扇和三台低压步进电机来控制研磨板的倾斜和旋转，以及金刚石盘站的驱动头。数字控制计算机允许精确、自动地操作资产。它旨在为研磨和抛光工艺提供更高的精度和稳定性，并配有直观、菜单驱动的图形用户界面，便于操作。6 DS-SP模型效率高,产量提高,产量和设备特性提高。也适用于高精度要求的MEMS元件的生产。该设备能够高速运行，同时产生高质量的结果，非常适合用于生产半导体制造的硅片。
还没有评论