二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314673 待售

ID: 9314673
晶圆大小: 8"
CMP Polisher, 8" Spare parts included.
STRASBAUGH 6DS-SP是为半导体生产应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。STRASBAUGH 6 DS-SP由两个独立的工作区组成,每个工作区可以一次处理多个晶片。第一个区域执行研磨和研磨操作,而第二个区域提供精确的抛光。6DS-SP系统设计用于在各种基材上生产高抛光饰面,包括多种晶圆尺寸。6 DS-SP包括两区工作平台、转子研磨单元、Rhodius抛光机、抛光床、旋转头、机械手臂和喷水刷容量。两区工作平台为基材加工提供了安全、符合人体工程学的工作环境。转子研磨工具通过使用磨料研磨垫以及各种研磨和抛光工艺来去除基板的体积,从而获得高质量的镜面光洁度。Rhodius抛光资产旨在通过金刚石粉末和浆料进一步提高基材表面光洁度。抛光床提供平坦的水平表面,便于处理基板。它也是为快速去除和插入基板而建造的。旋转头通过快速的角度调整以及用于清洁和抛光的精确旋转运动,可以实现有效的晶圆处理。机械手臂确保精确的基板处理,这使得基板的精确对准,以最佳的过程效率。喷水刷子的功能为清除污染物提供了可靠的清洁解决方桉。STRASBAUGH 6DS-SP模型旨在高效处理多个晶片,从而实现高吞吐量。STRASBAUGH 6 DS-SP提供半自动和手动控制,以控制基板加工。该设备还设计了一些安全功能,例如安全联锁,以保护操作员和基板。总体而言,6DS-SP是一个先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统设计的半导体生产应用。它为高效的基板加工提供了多种特点,其安全特点确保了安全的工作环境。通过利用各种工艺,6 DS-SP允许在各种基板上产生高度抛光的表面。
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