二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314675 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,其设计目的是为硬质和软质基板提供高质量、表面光洁度的抛光,如硅、砷、石英和蓝宝石。它能够在任何给定循环上同时研磨、研磨和抛光2"-2.5"晶片。该系统提供了两种不同的精密晶片制备平台：一种用于小型基板，如纤维，另一种用于大型基板，如GaAs。STRASBAUGH 6 DS-SP单元由一个主控制单元以及各个子单元组成。主控制单元提供了一个用户友好的界面，允许监视和管理整个机器。主控件还装有为研磨、研磨和抛光机供电的电源单元。研磨、研磨和抛光机分为三类：研磨类、研磨类和抛光类。研磨类包括一个包括两点工具的自动晶片装载站，允许晶片定向，以及一个可编程的研磨室，可容纳高达0.5英寸的深度，一次最多可容纳8个晶片。它采用变频驱动器设计,允许高达35000 rpm的转速。研磨类能够以各种不同角度同时研磨晶片的两侧。研磨类由一次最多可容纳8个晶圆的自动加载器组成，并且可以对晶圆的两侧进行编程。在晶圆的平面上引入了一种可控的抛光浆液流动，使研磨具有更高的可控性和更低的循环时间。研磨类在旋转的圈轮上运行晶片，以确保更高的平坦度。最后，抛光类采用电化学抛光或磨料抛光工艺，以达到更高的表面光洁度和减少缺陷。它包括晶片上的一层薄薄的高导电层，用于改进抛光作用，以及可一次容纳多达8个晶片的可编程自动装载机。6DS-SP是一种最先进的资产,可为各种应用提供受控、精确的晶片研磨、研磨和抛光。它令人印象深刻的速度、精度、模型控制和多功能性使其成为满足各种晶圆需求的理想设备。该系统操作相对容易，为任何寻找完整晶圆研磨、研磨和抛光装置的实验室提供了一个很好的补充。