二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314680 待售

ID: 9314680
晶圆大小: 8"
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计精确度高,可靠性高。该系统具有全面的功能,能够为复杂的晶圆处理应用提供可重复和一致的结果。STRASBAUGH 6 DS-SP具有轻巧的模块化框架设计,使其易于配置并集成到现有的流程布局中。其高精度的结果得到了设备先进的晶片处理技术的促进,该技术可容纳多达6个″晶片,并且可以进行微调以获得可重复的结果。6DS-SP还配备了具有扭矩控制功能的强大的研磨、研磨和抛光电动机,确保了一致的结果而不牺牲精度。此外,6 DS-SP包括大直径和延伸接触区的集成空气轴承,在研磨和研磨晶片时实现更高的精度和重复性。还对STRASBAUGH 6DS-SP进行了优化,使其具有全面的电气和安全规范。STRASBAUGH 6 DS-SP能够产生一系列有价值的结果。用户可以利用机器的高扭矩马达和空气轴承,以及高达四分之一微米的高平整度和并行度来实现积极的库存清除速率。该工具非常适合于最后阶段的视力展平,特别是用于SOI晶片处理应用。为了保证最佳性能,6DS-SP配备了集成晶圆工艺控制资产。该型号采用数字显示屏和触摸屏,并具有直观的图形界面。它还提供了用户定义的流程监控数据采集和显示功能,用于实时流程反馈。通过利用设备的先进功能和集成过程控制系统,6 DS-SP为用户提供了晶圆研磨、研磨和抛光应用的无与伦比的准确性和可重复性。因此,该系统已成为半导体行业合作伙伴寻求可靠结果的标准,且操作经验极少。
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