二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314683 待售

ID: 9314683
晶圆大小: 8"
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP是一种功能强大、性能高的多处理晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统的开发是为了达到晶圆生产的最高精度和精确度,非常适合半导体、科学、光电、航空航天和汽车工业。STRASBAUGH 6 DS-SP设计有两个独立的研磨/抛光主轴,每个主轴最多可支撑三个晶圆。这个单元还包括两个独立的精密研磨头,可以很容易地针对不同尺寸的晶圆和材料进行调整。6DS-SP包括集成的CCD摄像头和光学、非接触边缘检测,并具有四点扫描功能,以提高精度。6 DS-SP专为晶圆的高效可靠研磨、研磨和抛光而设计,并利用多种复杂的功能确保所有工艺均达到最高标准。其可调速控机范围为5至1000 RPM,具有确保最佳效果的变频驱动器。STRASBAUGH 6DS-SP还具有闭环过程控制程序,该程序将不断监视和调整过程参数,以获得最佳效果。STRASBAUGH 6 DS-SP的多功能控制面板允许实时调整工艺参数,最适合正在加工的材料。6DS-SP还配备了一系列安全功能,旨在确保所有用户的最高安全级别。这包括实施电源保护工具、故障安全门互锁和紧急停止。闭环过程控制资产还包括一系列诊断工具,以确保快速识别和纠正任何潜在故障。此外,6 DS-SP附有一系列旨在最大化效率的配件。其中包括自动底边磨削程序(ABEG)、磨料清洗模块、磨环工具、卡盘工具等等。总体而言,STRASBAUGH 6DS-SP是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光模型,能够达到最高的精度和精确度标准。通过利用最新技术和创新功能,STRASBAUGH 6 DS-SP确保最大效率和安全性,使其成为各种行业的理想设备。
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