二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314684 待售

ID: 9314684
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种精密抛光机,设计用于半导体和光电工业。STRASBAUGH 6 DS-SP系统具有自动变速驱动单元,为研磨和研磨操作提供精确、均匀的运动控制。该机器的倾斜、冲程和轨道运动能力使任何扁平、柔性晶片或具有挑战性的基材材料(包括陶瓷、玻璃和蓝宝石)都能够快速去除库存和精确表面整理。它非常适合半导体和光电基板,直径不超过150毫米。6DS-SP工具具有先进的精密轮廓平面压板,具有可调、可编程的中心质量和均匀的负载分布,可确保在整个过程中实现最佳的晶圆与压板接触。其精密控制的进料速度有助于快速清除库存,并消除了颤抖现象,从而提高了表面光洁度质量。它还提供精确的过程中测量能力,以控制压板压力,孔口条件,泥浆颗粒捕获可重复的结果。6 DS-SP资产提供全几何磨削、研磨和抛光功能。其集成的抛光板具有可定制的几何形状,用于抛光形状不规则或表面特征细腻的晶圆。高级Smart Polish软件模块提供基于预定义参数的自动排序。此外,获得专利的Smart Level技术还提供快速、方便的表面平整度测量。该型号明亮、易于读取的LED显示屏可确保精确、平滑的运动,以及实时的压力、速度和温度反馈。它还具有易于使用、直观的操作员界面和电容式触摸屏,并具有用于精确和可重复操作的预定义工作配方。它包括各种安装选项,适用于所有类型的工作站和工艺设计,以及多种外围设备兼容性,可将研磨和抛光机集成到开放式工艺系统中。STRASBAUGH 6DS-SP设备提供卓越的晶片边缘质量,非常适合研磨和抛光硬质材料。它为批量生产和研发工作提供了一个经济的解决方桉,允许缩短交货时间和一致的结果。其独特的特点,如可调节的质心和均匀的压力分布,使其成为晶圆研磨、研磨、抛光操作的高效、经济实惠的选项。
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