二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314685 待售

STRASBAUGH 6DS-SP晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种最先进的系统,旨在方便在半导体和其他材料上生产高质量的抛光表面。该装置非常适合在半导体、MEMS和光电晶片制造中进行研磨、研磨和抛光操作。STRASBAUGH 6 DS-SP机由6轴线性伺服电动机驱动器组成,可提供x、y和z运动能力,用于精密研磨、研磨和抛光操作。该工具能够以高达0.001 μ m的高速和特征分辨率运行,以实现快速、精确的研磨、研磨和抛光。伺服马达传动为严格的过程控制和精度提供了极好的可重复性。资产采用了强大的双面研磨研磨工艺。一个旋转的晶片级定位在两个研磨和研磨头之间，可以相互独立调整，分别驱动。这种双面研磨工艺在晶圆表面上形成精确的镜面光洁度。该模型还采用了新设计的压板，该压板旨在降低局部温度和压力，防止晶圆变形。该压板由四个径向臂支撑，可进行快速精确的研磨调整，并与晶片保持一致的接触。6DS-SP还包括一个强大的抛光子系统。它由三个不同的抛光元件组成：一个旋转板、一个粘合环和一个抛光垫。旋转板和粘合环提供了一个可靠的，均匀表面的抛光垫上移动。抛光垫也可调节，在抛光过程中施加所需的力量。总体而言，6 DS-SP是晶圆等材料研磨、研磨和抛光的先进设备。它能够快速准确地提供高质量的抛光表面,同时保持严格的过程控制。该系统具有先进的设计和特点，是半导体和光电晶片加工操作的理想选择。