二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314687 待售
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STRASBAUGH 6DS-SP是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于精确、一致地生产半导体晶圆和其他刚性、扁平基板。该系统具有超低污染加载到机械研磨/研磨阶段的精密负载锁、超清洁、压力控制的单面机械研磨单元、单面、多头、干化学抛光机和高精度轧机/平面机主轴。负载锁具有HEPA过滤、氮气净化的超低环境污染环境。机械研磨/研磨工具能够通过双面研磨、研磨和双面研磨在刚性表面上产生极低的表面粗糙度。机械资产还可以在抛光阶段之前对一个亚微米粗糙度进行单面研磨。清洁站采用刷和真空作用防止交叉污染。STRASBAUGH 6DS-SP抛光模型旨在实现高度一致、可重复的抛光过程,并具有最大的均匀性和控制性。该设备采用单面多头抛光工艺，具有自动化、计算机控制的操作。干化学抛光工艺能够在整个基板表面上产生高超精度的平坦度，并且在横跨晶圆的抛光工具中实现了高水平的均匀性。6DS-SP还配备了高精度的轧机/平面机主轴，其设计目的是减少微粒污染，防止物质去除过程中产生微粒。轧机主轴经过精密加工,可提供超高精度的平面操作,并具有全动实时视频监控系统,用于检测和清除任何不需要的毛刺。最后，6 DS-SP配备了自动化处理单元，以确保晶圆和其他基板的可靠高效生产。基板的装载、卸载和转移可以很容易地实现自动化，机器提供了一系列的安全措施来防止污染和损坏。自动化处理工具还采用直观的用户友好软件进行设计,使资产的编程和操作变得简单高效。
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