二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314688 待售

ID: 9314688
晶圆大小: 8"
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP是一种半自动化晶片研磨、研磨和抛光设备,设计用于处理各种材料,如硅、砷化氙和其他先进材料。STRASBAUGH 6 DS-SP采用了一系列先进的材料去除技术,包括电化学磨损,以及超声波研磨和抛光,以获得卓越的表面平面性和质地。6DS-SP包括两个晶圆研磨/研磨主轴和一个抛光主轴。研磨主轴采用金刚石胶带和金刚石膜研磨介质进行磨损基材料去除。金刚石膜通过热固化技术粘合到柔性的旋转或真空粘附的塑料背衬上。金刚石介质可应用于蚀刻或激光钻孔图样,以提高纹理或表面平面度。6 DS-SP提供高达2500 rpm的一系列驱动器速度,是同类机器中最高的。这对于最大的加工效率是必需的,并且可以提高材料的去除率。该系统具有先进的保护措施,可以保护磨削表面免受轴轴的超出公差的振动和摇摆。STRASBAUGH 6DS-SP设计方便维护,晶莹剔透的聚碳酸酯膜盖提供无尘环境。研磨主轴负责晶圆研磨、研磨和抛光的第二步;利用硅溶胶和金刚石颗粒的浆料,研磨是一种强大的抛光技术,可产生优越的表面光滑度。STRASBAUGH 6 DS-SP研磨主轴具有可变连杆臂,可实现最大的灵活性和控制。连杆臂提供连续可变的旋转、平面内和平面外运动,以确保均匀去除材料。6DS-SP抛光主轴是过程中的第三步,允许高速加工,抛光以提高表面光滑度,并增加材料去除。该装置提供可变压力,可提高材料去除的精度和控制。压板运动次数、压板速度和压板压力也可编程以提高柔韧性。6 DS-SP机器的设计能够提供卓越的性能、速度和精度,同时仍然经济且易于维护。这种晶圆研磨、研磨和抛光工具具有通用的纺锤和先进的特点,可用于加工各种材料,结果一致。
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