二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9410927 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一种晶圆研磨、研磨和抛光（GL&P）设备,设计用于加工各种材料,从脆性基板到延展性基板,平整度和平行性低至1nm。该系统适用于多个行业的各种应用,包括半导体、医疗和数据存储。该单元采用全自动、多轴控制,设计为最高精度和高性能,STRASBAUGH 6 DS-SP实现了<1 nm的绝对平面度和<5 µm的平行性。6DS-SP还配备了最先进的集成视觉机器,可在过程开发的各个阶段实现高精度的对齐和测量。该工具采用独特的工艺室设计，允许使用传统和专有工艺处理不同的材料，如硅、玻璃、石英和其他无机基板。其强大的磨料浆料、主轴和真空系统可实现超精确的材料去除以及机械、化学和热加工的结合。该资产既高效又安全，采用行业领先的安全和环境监测模式，监测空气、温度和湿度。它还包括一个带有自动化工作场所清洁系统的视频监测设备，以及一个振动进纸器，以尽量减少对加工室的小但必不可少的污染。6 DS-SP设计用于处理200 mm和300 mm晶片,可根据需要进行缩放以处理更大的晶片。该单元为样品保留机提供了灵活性,允许使用磁带、安全或非安全格式。此工具非常适合用于研发、故障分析和生产GL&P应用,以及要求高精度GL&P且具有纳米精度的技术。