二手 STRASBAUGH 6EC #141548 待售
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ID: 141548
CMP system, 4"
CMP Research, failure analysis, and low-volume production
Semiautomatic operations via color touch-screen GUI
VIPRR Carrier & hydro-lift load station
Single table
22" Diameter polish platen
Integrated pad conditioner
Load/unload station with wafer rinsing
Backside pressure control system
Vacuum / fluids separation unit
6EC Manuals
Option:
(5) Carrier template for small samples:
Configured for 2", or non-standard shapes and sizes
Thickness and shape to be defined.
STRASBAUGH 6EC是一种在晶圆生产中提供无与伦比的表面光洁度的尖端晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统的设计目的是加快晶片的生产速度,并将研磨、研磨和抛光循环减少多达90%。STRASBAUGH 6 EC的模块化设计为特定晶圆尺寸、形状和厚度的定制和配置提供了灵活性。6 E C采用三相不锈钢研磨工艺。这个过程由软磨、中磨和硬磨、调理、抛光组成。软研磨是该过程的初始步骤,在此过程中,样品的表面是通过在任何颠簸或山脊处研磨而制得的。在中磨过程中,采用金刚石复合敷料环的高速圆晶片研磨臂最大程度地减少了表面的不规则性。硬磨阶段是赋予晶片特定形状和大小的地方。最后的调理和抛光阶段使样品有光泽和完美的光洁度。6欧共体采用独特的自上而下的清洁方法。这种方法确保整个装置得到高效和有效的清洁,同时通过防止颗粒释放到生产过程中来尽量减少污染。机器的高级安全功能还可以保护操作员在处理不同的材料污染物时免受潜在的交叉污染。STRASBAUGH 6 E C由直观的触摸屏控制面板控制,该面板具有完整的过程历史记录,并且数据存储都是用户可编程的。此控制面板还允许设置槽速、台阶间的停留时间、压力范围、砂砾大小和深度以及冷却剂浓度。其他功能包括易于使用的可编程命令语言和重复过程的可自定义配方。总之,6EC是一种晶圆研磨、研磨和抛光工具,其设计目的是在生产高质量表面光洁度的同时减少晶圆的生产时间。此资产由高级直观的触摸控制面板驱动,该面板提供流程历史记录、数据存储和可定制的配方。独特的自上而下的清洁方法可以防止交叉污染,同时有效地清洁。
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