二手 STRASBAUGH 6EC #293809254 待售

STRASBAUGH 6EC是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供生产和研究环境中的吞吐量和可重复性。这台用途广泛的机器能够处理各种晶片，包括具有圆形和矩形晶片配置的Silicon、GaAs、GaN和Silicon Carbide。STRASBAUGH 6 EC由三个模块化吊舱组成,为应用程序要求提供最大的灵活性。在研磨吊舱中，通过8个站的操作来实现快速的拆料，每个站包含两个金刚石轮子，它们旋转和振荡以去除晶圆表面的材料。强大的电机和定制设计的车轮在磨削过程中可实现高效率和精确度。研磨吊舱具有精密的浆料输送系统，将不透明或透明的研磨流体分配到晶圆的底面。晶片暴露在浆液中后，豆荚的实验室技术人员使用最后的研磨工艺来提供均匀的表面。在抛光吊舱中，有8个站可以向晶片提供研磨和氧化铜浆料的组合，以产生优越的光洁度和优越的材料去除。活性浆液管理和负载单元可确保快速和可重复抛光,即使具有侵蚀性的浆液也是如此。吊舱之间完全集成的机械臂简化了操作，方便了晶片的装卸。整个6 E C结构，包括所有吊舱、电机、安全部件和其他组件，都被封闭在一个声音阻尼柜中，允许轻松融入现有生产线。机柜还包括固态空气过滤机，帮助捕获和处置晶圆研磨、研磨和抛光过程中产生的碎片。为了提高安全性和便利性，还包括一个操作员界面，用于控制6 EC的操作。此接口允许技术人员轻松准确地控制流程参数、测试协议和其他操作参数。此外,该工具旨在提供高产产量和出色的操作可重复性。这台用途极为广泛的机器有效地处理各种晶圆尺寸、材料和配置,同时提供高生产吞吐量和最大可重复性..它非常适合在研发环境中进行低批量和中等批量生产。