二手 STRASBAUGH 6EC #293816891 待售

STRASBAUGH 6EC
ID: 293816891
Chemical Mechanical Planarization (CMP) systems.
STRASBAUGH 6EC是一种自动化的全程序晶圆研磨、研磨和抛光设备.这种高度精确的表面和研磨系统被设计成在晶圆上完成表面。它由四个主要控制器组成:表面光洁度控制器、方向/锁定控制器、研磨/研磨控制器和抛光控制器。表面光洁度控制器是单元的核心,允许操作员从任何机械研磨、研磨和抛光问题中快速恢复,以及控制表面光洁度的所有样品旋转和设定点。它能够进行3 D曲面剖析,并且一次最多可以剖析三个曲面。它还有一个步进扫描机,它依次走动检查每个晶片的表面,从而最大限度地提高刀具的吞吐量。定向/锁定控制器将晶片安全、精确地固定在适当的位置,确保无论晶片的位置或大小,都施加相同的压力。它还提供了在样品位置之间快速准确地切换锁定机构的方法。研磨/研磨控制器使操作员能够以独立控制的线性和旋转运动围绕研磨/研磨板移动晶圆,并允许以恒定的力水平执行循环。此控件包含顺序定格动作。抛光控制器用于对晶圆表面施加最终抛光。它能够记录每个样品的最终抛光重量,同时考虑到被抛光材料的密度及其尺寸。该控制旨在使操作员能够控制从低到高范围内的抛光压力。STRASBAUGH 6 EC是一种高度精确的资产,旨在平均分配表面研磨、研磨和抛光过程中施加在晶片上的压力。6 E C具有四个控制器、连续定格运动、3 D表面轮廓以及控制抛光压力的能力,为晶圆表面的处理提供了无与伦比的精度水平。
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