二手 STRASBAUGH 6EC #9105741 待售
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STRASBAUGH 6EC是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于生产超导平面化表面。该系统包括可调节扭矩的两级低频研磨电动机，可实现快速、精确的平面化。外测控制单元通过保持恒定的进给速度确保两侧的均匀平面化。这台机器是用集成磨料安装在一个卡带快速和容易转换设计。STRASBAUGH 6 EC采用带变速电动机的6口袋金刚石/碳化物磨轮。车轮的砂粒尺寸为0.3至0.7微米，用于精磨。可调节的进料轮可实现高速、低力研磨。晶片用真空卡盘固定在转盘上，以确保均匀接触和精确研磨。6 E C还包括研磨抛光站。该研磨板具有高速电机和可调频率驱动器，以实现晶圆表面的均匀研磨。它采用考虑晶圆接触面积和转速的算法程序设计，以确保均匀完成。获得专利的振荡机构确保晶圆表面的最佳抛光。该工具还具有用于粗糙晶圆加工的浆料和清洁站。该设计允许对喷嘴进行简单的更换,以便有效地清洁表面。该资产还设计用于收集废渣和过滤杂质。6 EC采用用户友好型HMI（人机界面）设计。图形显示以及操作员对话有助于进程操作。它具有一个按钮控制面板，可以方便的参数调整和过程监控。该模型在Siemens S7-300控制器上运行,该控制器计算过程变量和实时数据。设备设计具有先进的安全监测和预防性维护能力，以提高性能和效率。STRASBAUGH 6 E C是一种简化晶圆生产的多功能一体自动晶圆研磨、研磨和抛光系统。它具有很高的可靠性，为超细晶片提供精确的平面化。其先进的安全特性和用户友好的HMI使其成为薄基板表面超精密平面化的理想选择。
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