二手 STRASBAUGH 6EC #9112652 待售

ID: 9112652
晶圆大小: 8"
CMP System, 8".
STRASBAUGH 6EC是一种坚固、通用且先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足最苛刻的基材加工需求。它具有连续可变的C轴、双侧臂架、优越的力和压力控制能力以及快速准确的电子设备。STRASBAUGH 6 EC利用专利重复性交换算法进行更一致的操作。使用此功能,用户可以创建自动工艺或多步骤配方,以精确、一致地研磨、研磨和抛光基材。工艺参数也易于编程,可以跨多个系统轻松共享,使得该系统非常适合大型生产设施。该单元包括各种设计精良的基材和材料。这些包括氧化铝、陶瓷、氧化镁、石英和蓝宝石。此外,6 E C也经过了优化,可用于直径最大为12英寸的采空区基板。对于自动装卸,用户可以利用集成机器人和手臂装载机。STRASBAUGH 6 E C采用湿加工和干加工两种方法。在湿加工法中,将磨料浆泵送至基板表面,并利用其强大的离心力,创造出有效的研磨、研磨和抛光溶液。浆料然后排回加工室,减少了操作员干预的需要。干加工方法采用安全有效的蚀刻技术,进一步细化基板表面。6EC最令人印象深刻的特点之一就是它的高压/高温合规性。这使得机器能够高效地和有效地处理基板表面而不会损坏它们。另外,6 EC利用其"冷"室最大程度地减少了基板表面的氧化。STRASBAUGH 6EC也非常可靠和耐用,具有自动自校准能力和强大的运动控制能力。该工具还拥有一个内置的因式和用户定义配方库,这大大减少了编程时间和工作量。STRASBAUGH 6 EC除了其所有高级功能外,还附带了多种附加配件,包括金刚石工具、真空系统、冷却系统和温度校准配件。所有这些加起来使6 E C成为市场上最先进、效率最高的晶圆研磨、研磨和抛光系统之一。
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