二手 STRASBAUGH 6EC #9227505 待售

ID: 9227505
CMP System Heads included.
STRASBAUGH 6EC是一种晶圆研磨、研磨和抛光机,它将现代技术与高效加工相结合,为晶圆研磨、研磨和抛光需求提供可靠的解决方桉。它采用自动化控制设备进行设计,可实现精确和一致的结果以及增强用户安全性。该系统采用集成的可编程控制器、基于PC的软件以及步进电机驱动的晶圆研磨和抛光阶段。STRASBAUGH 6 EC配备了一系列晶圆研磨阶段和一个研磨阶段。磨削阶段的设计是安全磨碎薄膜和晶片上的其他表面特征,精度低至0.1微米。研磨阶段通过使用磨料介质在晶圆上制造多达200微米的平坦表面来扩展设备的功能。6 E C还配备了低速、高扭矩电动机的可调、压控抛光头。抛光头是可编程的和完全自动化的,以确保一致的结果和准确性。可以调节抛光装置的摩擦和压力,以最大限度地提高性能,防止表面损坏。机器的过程监视功能允许用户控制和查看各种参数,包括四轴位置精度和材料厚度。位置精度提供了一种在研磨和研磨过程中测量和调整晶片对准的方法。完整的工具具有灵活性,允许用户根据自己的特定要求自定义流程和工作流。安全是资产的一个重要特征,6 EC集成了一系列保护操作员安全的特征。其中包括紧急停止按钮、压力超载保护和空气系统,以保护操作员的眼睛免受模型产生的任何机载碎片的伤害。总体而言,6EC是一种可靠和精确的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于一致和高效的晶圆加工。它具有高度可定制和用户友好的特点,具有一系列安全功能,可在晶圆处理的每个阶段保护操作员。
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