二手 STRASBAUGH 6EC #9294178 待售

STRASBAUGH 6EC是一种可编程晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统有一个加工室，里面装有执行各种研磨、研磨和抛光功能所必需的工具。腔室配有180度旋转磨桥、两个可编程磨轮、两个手动研磨板、两个强制研磨环和三个15英寸抛光抛光轮。该工艺室有一个可调节的高度平台，以容纳一系列尺寸从35-110mm不等的基板。它还有一个用于精确、精确控制研磨和研磨工具位置的集成单元。磨桥能够在圆周周围容纳多达12个工具，这些工具可以独立或统一操作，从而能够执行复杂的过程。两个轮子和研磨板是可编程的，允许用户精确控制速度、力、角度、时序等过程的各个方面。机器的抛光托架包含两个强制研磨环和三个抛光轮。强制研磨环能够施加高达3,000lbf的压力，从而获得最精确的研磨结果。抛光轮提供抛光基板与光学平坦度要求在等级1至5.此外，这些车轮能够实现低划痕表面表面处理，并具有低颗粒污染水平。STRASBAUGH 6 EC工具由自动闭环控制资产驱动,该资产提供近乎实时的流程监控和反馈。该控制模型能够有效地控制各种工艺参数，包括冷却剂流量、扭矩、电流、力、温度等。设备还支持对整个流程历史记录进行长期数据记录，允许用户监控流程性能。该装置具有安全屏障和轻型窗帘等广泛的安全功能。屏障的设计是为了防止意外接触造成的伤害和设备损坏，而灯帘即使在机器运行时也允许继续生产。该系统还采用直观的用户界面和可访问的机械组件,便于安装和维护,便于访问和更换。