二手 STRASBAUGH 6EC #9296334 待售

STRASBAUGH 6EC
ID: 9296334
晶圆大小: 8"
CMP System, 8".
STRASBAUGH 6EC为晶圆研磨、研磨和抛光提供了坚固可靠的解决方桉。它是生产具有恒定平坦度测量和直、干净边缘的6英寸硅片的行业领先工具。STRASBAUGH 6 EC通过研磨、研磨和抛光来平滑、清洁和赋予经过该过程的材料均匀的光洁度。6 E C旨在提供现代半导体产业所需的精度和可靠性。它是一种用途非常广泛的机器,能够对硅、石英、玻璃、陶瓷等各种材料进行磨削、研磨和抛光,晶圆尺寸从5"到8"不等。6 EC有两种版本-单主轴和三主轴-因此它可以配置为满足不同的生产需求。三轴版本使得单通道进行研磨、研磨、抛光操作的组合成为可能,STRASBAUGH 6 E C是全球首款真正的6英寸晶圆研磨抛光设备。它具有坚固稳定的设计结构,具有重型直线轴承、超大球形螺钉,以及定制设计的磨削和抛光头,以实现更高的精度。它还包括一个先进的控制系统和自动化的功能,以快速和一致的处理。该机具有磨削、研磨、抛光等多种工艺模式.每种模式都能精确控制各种参数,例如研磨/抛光压力、磨料浓度、循环速率和切割角度。这样可以确保晶片在整个生产运行过程中始终可重复。6EC设计可容纳各种配件,用于定制每个流程以满足任何应用程序需求。这些包括金刚石磨轮、金刚石浆料、抛光环和缓冲器。附件还包括除尘器单元、润滑机和压力表,用于测量砂轮内部的磨削压力。STRASBAUGH 6EC能够在较短的循环时间内生产出高质量的晶片,在研磨和抛光过程中极为精确稳定。它允许快速重新配置和设置,以实现更快的转换和出色的吞吐量级别。它的集成控制工具对所有流程进行100%的监控,以确保精确实现所需的结果。
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