二手 STRASBAUGH 6EC #9398709 待售

STRASBAUGH 6EC是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于需要精确表面光洁度和低表面排泄率的应用。该系统采用精确、坚固的两级研磨平台，将晶片磨削、拉圈和抛光至极高的表面质量。STRASBAUGH 6 EC配备了两个压板级，每个级都有一个直径12英寸的穿越卡盘和一个低惯性热板。该单元的第一级设计用于研磨晶片表面,以便在研磨和抛光之前创建具有高表面均匀性的镜面光洁度。这是通过高精度进料控制完成的，可根据每个晶片的表面平整度要求进行可变调整。磨盘由外部自来水冷却，并配有ZoneGuard碎屑控制机，以防止碎屑离开工作区。6 E C的第二级是高精度研磨阶段，配有金刚石粉末或氧化铝浆料等速变研磨/抛光介质，以实现最大的精加工控制。对压板进行加热或冷却,以获得最佳的光洁度和表面缺陷.再一次利用精密进给控制来保证精确的表面均匀性。平板装有高效通风工具，可清除工作区内的废旧介质颗粒，保持清洁的工作环境。使用用户友好的PC界面以完全自动化的方式操作资产。用户能够存储和召回过程参数，查看实时晶圆视频和晶圆计量结果，并监控模型的状态。最先进的机器人技术用于操纵设备中的晶片,以最小的手动操作确保最佳效果。这样就可以实现快速、高效和可靠的流程,并最大限度地减少操作员的干预。6 EC是一种功能强大、可靠的晶片研磨、研磨和抛光系统,具有出色的表面光洁度均匀性和较高的排便水平,并具有高度自动化的工艺优势,从而提高了晶片的生产率并减少了对晶片的手动处理。