二手 STRASBAUGH 6EE #293665130 待售
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STRASBAUGH 6EE晶圆研磨、研磨和抛光设备是一个先进的晶圆制造加工平台,旨在为半导体和MEMS器件的生产提供完整的端到端解决方桉。通过其集成的设计和模块化体系结构,系统可以很容易地进行缩放和定制,以满足特定的晶圆级制造要求。该装置采用STRASBAUGH专利的MAPL(多轴抛光)技术,使用户能够精确控制晶圆的方向和表面轮廓,从而创建高质量的曲面。它结合了传统晶圆研磨和抛光工艺的优点以及与磨料射流加工和CMP加工相关的更高的精度和质量。MAPL技术还允许改进工艺均匀性和降低与晶圆裂纹有关的产量损失。机器可以从一个速度和压力设置范围内自动调整,允许它容纳各种晶圆几何形状和表面规格。该工具还具有高效真空资产和自动皮带装载模型的不间断运行。6EE的机载诊断设备可以监视正在处理的晶片的当前状态并提供反馈,从而可以更好地控制整个制造过程。除了MAPL技术外,STRASBAUGH 6EE还包括各种工具和附件,增强了系统的整体能力。这包括一个过程中的晶片分析单元,该单元可以监视晶片的方向,并实时监控进程的进展。机器的其他功能包括可拆卸的皮带和晶片托盘,以便在短时间内改变工作负载。该工具还包括各种其他模块和选项,如研磨板、抛光垫和特定于应用程序的工具。6EE是各种晶片加工应用的理想平台,包括单面和双面抛光和研磨,以及半导体晶片加工的反向研磨。该资产旨在降低成本和提高效率,同时保持制造结果的高度精确度。其先进的MAPL技术和优化的加工参数确保了始终如一的高质量晶片,使其能够满足最苛刻的半导体制造应用的要求。
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