二手 STRASBAUGH 6EE #9412701 待售
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STRASBAUGH 6EE是一种全自动、可编程的晶圆研磨、研磨和抛光设备。在低、中、大体积晶片要求的精细抛光以及研磨较小晶片和精密研磨等应用中,它是精密抛光的理想选择。这种先进的系统可以快速设置,其设计目的是满足不断增长的对高容量吞吐量和准确性的需求。该单元具有三轴、计算机控制的定位阶段,以获得准确和可重复的结果。封闭式设计允许最佳研磨和研磨,最多八步,具体取决于应用程序。磨削和抛光过程的每个步骤都是在真空环境中完成的,以获得最佳效果。该机还具有均匀的压力控制,允许精确的步进控制,包括晶圆边缘控制。使用单独的可编程晶片保持卡盘可以处理各种形状和大小的晶片和设备。这些卡盘还可以按需拆卸,以便于处理不同的尺寸、类型和厚度。刀具还包括一个表面光洁度测试仪,它精确测量表面光洁度和晶圆厚度。该资产能够实现非常低的平均粗糙度值,以及在粗糙度测量中具有高可重复性的一致性。6EE易于与其他系统集成,例如过程监视、过程控制和数据记录接口。它还为自动化后处理提供支持,包括向网站、印刷电子设备和其他外部地点传输数据。该模型旨在满足高级研究和生产过程的需要,并提供可靠和准确的结果。它具有模块化的设计和先进的特点,是晶圆研磨、研磨、抛光的理想设备。
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