二手 STRASBAUGH 6UR-1 #9070478 待售

STRASBAUGH 6UR-1晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种最先进的设备,可对几乎任何类型的基板进行专门处理,并具有最高质量、可重复的结果。6UR-1系统是一个全自动平台，能够研磨、研磨和抛光各种尺寸的晶片。该单元有四个加工室，每个加工室都装有自己的一套专用精密研磨、研磨和抛光工具，以保持最高水平的可重复性，无论工艺如何。STRASBAUGH 6UR-1设计用于精确加工包括整体基板在内的所有类型的基板；或高达300毫米晶片，处理高达1英寸厚的晶片。6UR-1能够执行广泛的应用,包括CMP、CMP化学机械抛光、半导体应用纳米技术、MEM （MicroElectroMechanical Systems）以及无线和电信组件的高级处理。所有STRASBAUGH 6UR-1自动化功能都旨在降低设置成本、提高生产效率和消除过程恐惧。6UR-1机器装有一个装卸站和一个完全可编程的机械臂，以提供晶圆的精确装卸。机器人可用于将晶片从载荷站转移到四个加工室中的任何一个，在这些处理室中，砂轮和研磨板都可以改变，以执行不同类型的过程。该工具还配备了能够实现自动化过程控制的传感器，为每个过程提供了最高的精度和可重复性。STRASBAUGH 6UR-1资产还具有自动数据采集功能,可提供实时流程跟踪和分析。这允许使用压力、水流/温度、车轮/板RPM等一系列参数进行精确的质量控制和过程监控。这有助于减少工艺变化并最大限度地减少废料。总之，6UR-1晶片研磨、研磨和抛光模型是加工多种基材的可靠、完整的设备。自动化的数据采集和机械臂提供准确和可重复的结果,同时允许实时反馈的过程监控和质量控制。该系统配备了四个处理室，每个处理室专用于一个特定的工艺，并且可以处理多达300 mm的晶圆，使其成为广泛应用的最佳解决方桉。