二手 STRASBAUGH 6ZR-1 #9095656 待售

STRASBAUGH 6ZR-1是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于各种半导体晶圆加工应用。该系统旨在为要求苛刻的应用提供高精度和可重复的性能，跨越硅、石英、蓝宝石和其他光电材料等材料。6ZR-1利用双轴设计来优化临界晶圆应用的表面光洁度、圆度和曲率半径。STRASBAUGH 6ZR-1是一种提供精密表面研磨和抛光的单步工艺。该工艺采用高速电机和齿轮箱，具有快速、精确、高精度的晶圆研磨能力。6ZR-1采用变频驱动器（VFD）和可变斜角设计,可对多种材料进行精确调整。重型、线性电动、双轴驱动单元可实现均匀研磨和抛光效果。STRASBAUGH 6ZR-1机设计用于支持各种扁平研磨运动,包括轴向、径向和平面运动。主轴和研磨板都是可调的，允许为不同的材料提供有利的工艺条件。可以使用集成视觉工具进行过程中的零件检查,该工具能够检查研磨和抛光晶圆表面。6ZR-1资产还提供完整的过程自动化,内置控制和监控功能,用于研磨和抛光操作。这包括自动停止和自动重置等功能、可重复处理结果的过程特性、间隙崩溃保护等。总体而言，STRASBAUGH 6ZR-1提供了高精度和可重复的晶圆研磨、研磨和抛光模型。它旨在提供高质量、可靠和可重复的结果,并为要求苛刻的晶圆应用提供精确和可重复性。6ZR-1提供了一个单步过程,其中包括过程自动化和过程中零件检查,以获得最佳结果。