二手 STRASBAUGH 6ZR-2 #9221840 待售

STRASBAUGH 6ZR-2是一种设计用于精密半导体加工的高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用6轴机器人平台，可同时精确处理多达四个晶圆。它能够处理所有晶片材料，包括硅、的、蓝宝石和石英。6ZR-2为各种低粗糙度表面饰面提供研磨和抛光,并利用多种专有技术确保高工艺质量。该单元包括一个由固体工业铝合金制成的最先进的机器人臂，包括一个用于晶片装卸的内置机构。机器人手臂由高速步进电机驱动，该电机能够提供极其精确和可重复的运动，从而能够快速和精确地放置刀具。手臂设计高度可调，以适应各种晶圆尺寸和工作距离，其坚固的结构允许使用寿命长，维护最少。STRASBAUGH 6ZR-2还利用强大的磨料马达，配备独特的变速控制和电子传感器，对磨料力提供精确的控制。此功能使机器能够提供高度的过程均匀性。包括一个高架真空泵，以便能够从工具和工作区域清除所有碎片，同时还能有效地操作研磨和抛光工艺。该工具还包括一个独特的水槽类型的抛光头，其目的是减少工作站停机时间。6ZR-2提供通用的控制功能,以确保最佳的可重复性和一致性。内置控制器提供了一个用户友好的图形界面，允许对过程完成和过程参数的存储进行实时监控。此外，自动统计过程控制（SPC）分析确保了对研磨、研磨和抛光过程的严格控制。STRASBAUGH 6ZR-2是晶圆研磨、研磨和抛光的完整资产解决方桉,提供精确的控制、可重复的结果和长期的可靠性。其坚固的结构、先进的特点和自动化的操作使其成为半导体应用的理想选择，包括湿磨、干磨和抛光。该模型提供了卓越的质量和精度，并确保提高任何晶圆制造工艺的吞吐量。