二手 STRASBAUGH 7AA #39287 待售

STRASBAUGH 7AA
ID: 39287
晶圆大小: 3"-6"
Fully automated wafer grinder / back grinder, 3"-6" Specifications: High precision, low stress vertical in-feed grinding method For semiconductor materials and fragile materials Capable of single and two-step grinding processes at high throughput.
STRASBAUGH 7AA是一种高性能晶片研磨、研磨和抛光设备,旨在为要求最苛刻的薄晶片级操作提供高效、准确和可靠的解决方桉。该机采用旋转转盘设计,可同时研磨、研磨和抛光多达150个晶圆。月台设有一对主研磨与研磨头,各有127毫米车轮直径,可变车轮转速范围50至400 rpm。另外,一对预磨机装有50毫米车轮,可变车轮转速为400至5000 rpm。坚固的双头设置可确保零件到零件和零件内的高可重复性,从而最大限度地提高产量。转盘还装有自动配药系统和抛光板,配有可变螺距抛光头。每个工作站配置有一个光学耦合的阻力单元,具有可调节的阻力,允许对工艺参数进行精确的控制,同时确保精确的晶圆级几何形状。可调节的螺距抛光头,从25微米到50微米不等,提供精确的角度控制和沿全光栅图桉抛光。机器可以打开或关闭,以便于操作和维护。集成真空机允许对环境进行细粒度控制进行精确抛光,可以进行调整,以确保操作和工艺的一致优化。STRASBAUGH 7 AA配备了一台高性能的计算机,可实现过程的完全自动化,并确保对晶圆研磨、研磨和抛光过程的快速、精确控制。此外,用户友好、直观的人机界面(HMI)提供了全面的工具控制和监控功能。该机器的设计可容纳各种晶圆级应用,包括IC、CMP、MEMS和其他专业技术。先进的光学、电气和热系统可提供连续的过程监控和纠正措施,确保过程优化并提高产量。7AA具有可靠的性能、灵活性和准确性,是高精度晶圆研磨、研磨和抛光操作的理想解决方桉。该资产提供了一个快速而强大的解决方桉,用于在一个稳健、面向生产的平台上生产高度统一和精确的晶片。
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