二手 STRASBAUGH 7DR #9251413 待售

STRASBAUGH 7DR是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统.它使用磨料盘研磨，膝盖和抛光直径达六英寸（152毫米）的半导体晶片。7DR是当今尖端硅微芯片体积小、精度高的原因。晶片安装在精密的3轴直线电动机台上，将晶片移动到研磨、研磨和抛光盘上。3轴级允许磁盘旋转、移入或移出（焦点控制）和上下移动（倾斜控制）。这使得STRASBAUGH 7DR在研磨、研磨和抛光晶片时保持严格的公差。7DR使用多级和磨盘来实现所需的抛光轮廓。对于研磨，系统装有磨料金刚石研磨盘。这个圆盘能够每张通行证去除多达40纳米（nm）的材料。对于研磨，STRASBAUGH 7DR使用两个独立的研磨圆盘，一个用于"精细研磨"，另一个用于"粗糙研磨"。这些允许用户移除材料,并在晶圆的整个表面创建± 5 nm的平整度。对于抛光，7DR能够同时使用化学和物理抛光工艺。化学抛光使用水溶液和磨盘一起去除晶圆表面的颗粒。物理抛光使用树脂膜和抛光布来达到所需的光洁度。STRASBAUGH 7DR能够产生非常高精度的结果,并且具有较低的热张力系数,因此可用于制造先进的超薄半导体器件。7DR是一个功能强大的MEMS（微机电系统）处理系统，绝缘子上硅技术，以及广泛的精密晶圆处理任务。其高精度的构造确保了清洁和均匀的效果。