二手 STRASBAUGH 7X #9280144 待售

STRASBAUGH 7X是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于生产高质量、无缺陷的晶圆表面。该系统适用于Si、AlN、GaAs、SiC、蓝宝石、铁氧体、熔融二氧化硅等多种基材的研磨、研磨和抛光。它是光通信、太阳能电池、功率放大器、MEMS等应用的理想选择。7X装置装有一个环境控制状态室，该室设计用于晶片的制备，因为它确保了良好的基板表面光洁度和可重复性。该机还具有可驱动至0.02 µm分辨率的高分辨率石英台阶表。为确保低颗粒污染，桌子上安装了多种固定装置，使支架相对于虹膜载荷/卸载臂精确对齐。基座是一种高精度、三轴线性研磨机/研磨机，旨在提供广泛的加工能力。C3000控制器中专有的STRASBAUGH开发的软件允许精确的晶圆加载、研磨和抛光过程。大的工作包络使工具可以灵活地处理从2"到8"的任何晶圆格式。此外，STRASBAUGH 7X还配备了一个自动检查资产，旨在识别过程中晶圆上的潜在缺陷。为了保持过程中的清洁度，7X配备了自动清洗模型，确保薄膜残留物或污染物不会进入晶圆室。该设备具有高容量的水力旋流器分离器，用于清除加工区域的大颗粒和泥浆污泥。此外，STRASBAUGH 7X还配备了自动清洗机制，确保每个加工周期都得到严格控制，最大限度地减少了空气中的颗粒数。该系统除了控制研磨和研磨参数外，还利用闭环闭环控制和气流技术提高了表面光洁度和几何精度。总体而言，7X是一种有效的晶圆研磨、研磨和抛光装置，设计用于可重复的高质量结果。它的过程控制、自动化和环境控制的腔室使其适合各种应用的精确需求。