二手 STRASBAUGH Planarizer #9197592 待售

STRASBAUGH Planarizer是一款先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在提供高性能晶圆平面化和表面质量。该系统利用多个研磨和抛光站来提升器件层的表面质量，如氧化物、氮化物、多晶硅、钨、金属等专用结构。完全可定制的控制单元允许即时定制以匹配和满足基板要求,从而为各种应用提供近乎完美的基板。Planarizer的主要部件包括均匀平衡、全密封的副板机。这种动态底板工具使用多个柔性气瓶来保持和均匀地分布磨削和抛光压力在整个磨削足迹和一致的整个磨削和抛光周期。它提供了对压板平整度、研磨压力、研磨抛光稠度等工艺参数的优越控制，创造出优越的成品晶片。在优化和自动化的基准识别机器人中，基板被移动到工艺的研磨和抛光阶段。独特的卡盘阻尼资产被设计成在整个基板表面均匀分布研磨和抛光压力，同时消除由于屈曲或不均匀的研磨压力造成的表面潜在缺陷。磨削和抛光由闭环反馈模型控制，以准确监测过程中的压力和工艺参数。STRASBAUGH Planarizer还配备了用于验证成品基板表面的高分辨率光学成像设备。该系统采用立体声显微镜和获得专利的亮场/暗场成像技术，为包括划痕、非均匀性、步高、厚度、平整度等多种特征提供过程中成像和验证，以及其他先进的表面粗糙度参数。Planarizer提供全方位的溅射和单面抛光解决方桉,并具有定制的配置,以满足特定于应用程序的工艺配方和需求。由于其获得专利的台式控制和自动基准识别机器人技术，它具有快速实施新工艺配方的能力。这些技术的结合使STRASBAUGH Planarizer能够部署用于各种磨削和抛光需求。