二手 STRUERS RotoPol 35 / RotoForce 4 #9059386 待售

STRUERS RotoPol 35/RotoForce 4是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,可为操作员提供一致、精确的表面光洁度并提高吞吐量。该系统专为半导体、MEMS和光伏市场的各种中低体积应用而设计,在这些市场中,严格的公差和优化的工艺速度对于生产成功至关重要。它是一个自动装置，配有一个x-y双旋钮控制台和一个可以容纳250毫米晶圆的卡盘的仰角调整。它的机电设计允许对多达十二个晶圆级工艺步骤进行一致和受控的逐步研磨、研磨、抛光和最终抛光。RotoPol 35/RotoForce 4包括纵向台式驱动器、带有各自刀架的磨料垫架工具、气动致动的顶部工具以及可编程的工艺参数设置。纵向台式驱动器最高可运行5000 RPM,并通过易于使用的内置计算机界面进行控制,该界面用于设置机器参数,以实现一致的性能和生产优化。磨料垫架刀架同时容纳金属和聚合物的1-3个垫架，有助于提高晶圆加工的灵活性。它还具有气动驱动的顶部工具,可编程,最多可提供10级干预电动机,允许配置需要多级磨料和操作的过程程序步骤。STRUERS RotoPol 35/RotoForce 4还具有方便的过程管理器,允许操作员保存处理说明、过程配方和机器的实时状态。这台机器高度可定制,可以与其他自动化设备（如机器人处理程序和测量工具）集成,从而可以集成到现有的自动化生产线中。用户友好界面还允许操作员调整主轴速度、压力、温度等过程控制参数。总体而言,RotoPol 35/RotoForce 4是一种自动化、用户友好的晶圆研磨、研磨和抛光机,可帮助在经济高效的自动化生产线中始终如一地生产高公差工件。它提供了灵活性、准确性和可维护性。