二手 STUDER RHU 400 #9066964 待售

STUDER RHU 400是一种下一代晶片研磨、研磨、抛光设备，设计用于在晶片层中产生优越的平面化和热膨胀系数（CTE）变化。该系统采用陶瓷涂层抛光板，以确保具有较高的表面光洁度和高度的平面化。RHU 400配备了先进的计算机控制单元，用于自动操作，允许根据所需的CTE减小和表面光洁度设置精确的研磨、研磨和抛光循环。该机600毫米直径的晶圆架设计为在整个研磨、研磨、抛光过程中保持晶圆均匀平整，具有保持均匀、避免损坏的独特气压特性。该工具还能够处理高度变化的晶片厚度,因为它配备了伺服控制,可同时调节精度和速度。STUDER RHU 400具有自动化学洗涤器，用于去除晶圆中的杂质。此外，资产还配备了五种不同的抛光工具，包括磨盘、活塞研磨、刷子、不锈钢栅格和铝浆板。这些工具旨在实现最佳的表面光洁度和平面化。RHU 400还配备了自动感应枪，这是一种先进的数据收集装置，用于监测整个研磨、研磨和抛光过程。该设备确保记录所有周期时间,并自动进行统计过程控制（SPC）,以改进质量控制。STUDER RHU 400是市面上最先进可靠的晶圆研磨、研磨、抛光系统之一。它旨在提供卓越的CTE降低和表面光洁度,同时为过程控制和质量保证提供必要的数据。该模型采用自动传感器技术和五种抛光工具，是大型晶圆制造应用的理想选择。