二手 STUDER S20-OC #9052592 待售
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STUDER S20-OC是一种多功能晶片研磨、研磨和抛光设备,可根据配置处理200毫米至300毫米晶片或更大晶片。通过集成先进技术和基于软件的创新控制系统,S20-OC系统旨在优化生产效率和正常运行时间,同时将成本降至最低。STUDER S20-OC具有高度模块化、面向用户的设计。功能包括全自动工艺室、直观的用户界面、精密伺服电机、高级传感器以及用于精确晶圆对准和闭环控制的激光干涉测量。该单元包括一台主机,通过可编程逻辑控制器(PLC)连接到其他组件。S20-OC还配备了先进的晶圆研磨、研磨和抛光工艺机器。该工具能够同时对多达8个晶片进行研磨、研磨和抛光,并具有预先设定的参数。这使用户能够对复杂的晶片形状和尺寸进行高度精确的自动处理。该资产具有完整的过程控制和监控能力,包括过程参数测量、模型安全互锁、晶圆负载测量、晶圆成熟和热控制。此外,设备还可以保存多达25种晶圆类型的参数和操作顺序,用于重复生产。STUDER S20-OC有一个高度自动化的工艺室,能够经济高效地进行晶圆的过程中和最终的清洁和干燥。此外,系统还有一个简单的用户界面,可指导操作员设置设备和过程参数,并提供错误或机器故障的明确指示。S20-OC包含高级材料管理系统,使用户能够优化过程性能和产量。此外,该工具还配备了晶片的污染证据指标,从而为故障排除提供了宝贵的工具。总体而言,STUDER S20-OC是一个极好的晶圆研磨,研磨,抛光资产是高度可靠和用户友好。该模型可用于处理复杂晶圆几何形状和复杂结构,具有高精度和重复性。它高度自动化,过程参数和控制监控等智能功能提供了改进的过程控制。出色的材料管理、热控制和污染证据指标使用户能够更好地控制工艺产量。
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