二手 TACCHELLA 2628 UMP #9052594 待售

TACCHELLA 2628 UMP是一款最先进的机器人设备，设计用于晶圆研磨、研磨和抛光。它是一个组合的人机，因为它不是完全自动化的，但需要操作员帮助研磨，研磨和抛光过程。该系统由安装在移动平台上的机械臂以及用于处理和加工晶片的一组组件组成，包括磨轮、研磨和抛光头。该单元装有一个FANUC控制机器人，有两个笛卡尔轴，设计用于三个维度的研磨、研磨和抛光头的精确运动。机器人可以在X、Y和Z平面中移动磨头，能够精确控制运动的速度和方向，以及相对于晶圆定位和定向磨头。该机器能够处理直径不超过8英寸的晶片,可提供非常高的精度和精密研磨,范围为0.0004-0.0006密耳（切削深度）。这保证了晶片表面是表面磨碎到均匀的表面，没有微裂纹或来自理想表面的像差。选择若干磨削和抛光工具以及研磨和磨料，使操作员能够根据具体需要和要求对工具进行定制。除了磨削和抛光的平顺性和准确性外,资产还具有广泛的安全功能,例如当操作员按下手动控制按钮或检测到障碍物时停止的机械臂。此外，当研磨、研磨或抛光头靠近晶圆边缘时，还会有一个声学警报模型来提醒操作员。总体而言，2628 UMP是一种高科技设备，大大提高了研磨、研磨和抛光工艺的准确性和可靠性，同时保持了操作员的安全。