二手 TAISEI GRI-2000 #9093455 待售

TAISEI GRI-2000是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在产生最高质量和缺陷的自由抛光表面。它是专门设计用于需要抛光从单键或多键装置技术产生的基板的应用。GRI-2000除了能产生较低的表面粗糙度（Ra）值外,还能产生较高的平整度和成品晶圆厚度控制。TAISEI GRI-2000由多个独立的工艺部分模块组成，可一次处理多达30个晶圆。每个工艺部分模块包含多达4个晶片装载站、抛光/研磨板、抛光浆料、抛光垫和抛光头。抛光头由变速、可变扭矩、直驱电动机驱动，确保晶圆在低速时精确接触，同时保持有效的抛光速率。GRI-2000还包括一个集成的计算机控制系统，使用户能够编程和存储过程参数，并在抛光过程中监控晶圆的进展。TAISEI GRI-2000的抛光头包含一系列气动臂，这些气动臂提供驱动抛光头靠在晶片上所需的压力。气动臂可调节,以适应抛光压力的变化以及抛光通路的数量,以确保消除缺陷和保持一致的表面光洁度。此外,磁头还具有一系列敏感的传感器,使其能够在抛光过程中测量晶圆的平整度,并根据响应调整抛光压力。GRI-2000还包括一个高效的分离单元，它可以方便地拆卸和清理机器。这种高效的清洁方法确保从工艺中有效去除粘合剂和表面污染物，使用户能够获得一致和高质量的精加工。TAISEI GRI-2000的所有元件都是由高级不锈钢製造，加工至4微米的公差，确保工具高度耐用。此外,还提供各种大小和配置的资产,使其能够根据特定要求进行定制。总之，GRI-2000是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光模型，能够产生高质量的表面并控制晶圆的厚度和平坦度。它非常适合要求对单键或多键装置技术产生的基板进行精密抛光的应用。