二手 TAMUKAI TLP-6B #9050600 待售
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ID: 9050600
优质的: 1991
DOuble side lapping system
Correction carriers
Slurry tank and pump
1991 vintage.
TAMUKAI TLP-6B是一种高精度精密晶圆研磨研磨抛光机。它设计用于在具有不同硬度和复杂几何形状的材料上生产极其平坦和均匀的表面。TLP-6B包括一个主体,一个砂轮头,一个上层研磨板和一个下层研磨板。该机配备了高精度、五轴运动控制设备,能够进行精确的操作和监控。磨轮头高度可调,可旋转至± 45°。研磨板具有可调节的耦合器,使它们能够在径向和角度方向上进行调整。研磨板由直接驱动的电动机驱动,可以以高达15m/s的速度运行,从而提高研磨精度。TAMUKAI TLP-6B设计用于容纳直径从60毫米到300毫米不等的晶片。该装置有一个可旋转的装卸站,允许它在任何方向或作为单独的片断处理晶片。此外,该机器还配备了自动清洗系统,该系统应用液体清洗溶剂从晶片中去除表面污染物。TLP-6B还包括与机器软件单元集成的CCD摄像头,以便实时监控晶圆表面以及研磨、研磨和抛光过程。机器还配备了触摸屏显示屏,允许用户快速设置参数或手动调整机器的运动。最后,TAMUKAI TLP-6B与先进的测量仪器兼容,以确保高水平的质量控制。例如,该装置配有激光干涉仪,以提供晶圆表面的精确轮廓。此外,TLP-6B还配备了旋转测试仪,用于检测平坦度和耗尽误差。总之,TAMUKAI TLP-6B是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光机,能够处理各种材料、晶圆尺寸和测量仪器。该机包括一台五轴运动控制工具、CCD摄像头、自动清洗资产和一个可旋转的装卸站,用于高效的晶圆处理,以及支持先进的测量仪器。这使TLP-6B成为实现极其平坦和均匀的晶片表面的理想选择。
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