二手 TAMUKAI TLP-9B #9224523 待售

TAMUKAI TLP-9B是一种自动晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在提供高通量和精确的工艺控制。该系统由振动台、液浆机和两个独立的研磨和抛光头组成。振动台面可调节，便于单面或双面晶圆研磨和抛光操作，并具有充分的振动控制。封闭式设计允许在研磨和抛光过程中有效地控制噪音和灰尘。研磨抛光头具有独立调节的自动跟踪速度和线宽补偿及压力控制，保持晶圆表面精确的距离和压力。浆料分离器能够将一致和准确的湿浆料输送到研磨和抛光头,以防止过多或过少的浆料过早损坏晶片表面。TLP-9B设计了一个强大的电气直接驱动，保证了一个全自动，操作独立的过程周期，高工艺质量和可重复性。该单元还配备了与计算机兼容的流程监控单元以及用户友好界面，使操作员能够轻松快速地从中央显示器和键盘输入流程参数。此外，TAMUKAI TLP-9B机采用"自适应速度"技术，将每个研磨和抛光头的速度调整到当前负载，以达到最佳研磨和抛光效果。这样可以在不影响最终结果的情况下加快完成时间。TLP-9B是晶圆研磨、研磨和抛光的完美解决方桉，因为它的功率、控制和精度。该工具非常适合那些希望在低维护和尽量减少材料浪费的情况下实现高吞吐量和卓越工艺质量的用户。