二手 TATENO HP400DC-NA #9395760 待售
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TATENO HP400DC-NA晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种高效多用途的最终平面抛光和表面精加工机器。该系统适用于加工多种材料,包括硅、砷化氙、氙、磷化铵、复合基材,以及任何其他需要非常高质量完成的材料。精密研磨机可以加工直径在4"到12.7"之间的晶片,能够同时研磨多达十个晶片。它具有广角旋转精密研磨轮,使晶片在应力最小化的情况下减小到所需的形状。该机配有温控循环冷却剂单元和精确模制隔振器,用于较低振动水平的高速研磨。现场过程监控被进一步单独配置,以提供最佳研磨效果。集成的研磨和抛光模块具有晶圆尺寸的可调托架,提供了卓越的光洁度以及卓越的平整度和均匀度。集成的高效自动传送器一次最多可输送二十个晶圆,设计目的是确保从研磨站到抛光站稳定一致的过渡。抛光轮以最小的人际互动创造出高度特异性的光洁度。该机设计为人性化,具有触摸屏控制、多种操作模式和简化维护功能。机器前端提供实时反馈,使操作员能够快速监测和控制气压、温度和速度。工具的后端由简单的微调过程组成,允许操作员为任何材料定制资产。晶圆研磨、研磨和抛光模型HP400DC-NA高速、精密和易于使用的控制面板相结合,是在多种材料上进行高精度表面精加工的理想解决方桉。它提供了高质量的精加工,同时确保了所有研磨、研磨和抛光任务的最大效率、安全性和可靠性。
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