二手 TOSHIBA / SHIBAURA KRTC-11A #9260801 待售

ID: 9260801
优质的: 1979
Rotary surface grinder (4) Tables speed: 10-30 RPM 1979 vintage.
TOSHIBA/SHIBAURA KRTC-11A是一种高精度、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提高吞吐量和提高生产效率。这个全自动系统可以在一个周期内处理多达12个晶圆,并设计了一个直观的用户界面,使操作快速和容易。TOSHIBA KRTC-11A包括晶圆研磨和抛光站,以及一个先进的研磨站,该研磨站采用金刚石研磨技术来达到高度的平坦度和表面光洁度。该单元包括一个机械晶片加载/卸载臂,该臂拾取晶片并将其传输到每个工作站,允许多个晶片并行处理。晶片研磨过程从将晶片加载到可调节角度和倾斜的研磨卡盘开始。过程的每一步都通过机器的触摸屏用户界面进行精确控制,其中磨轮速度、余量、修整频率、磨削压力等参数都是可调的。然后使用可靠的浆料进料工具对晶片进行研磨和抛光,以确保均匀的浆料施用和彻底的清洁过程。资产先进的研磨站可容纳广泛的抛光垫,并能配合不同类型的抛光浆液,达到高达0.5微米的精确平整度和高达5纳米的光滑表面光洁度。整个周期,从装载到卸载,不到30分钟,是大批量生产要求的绝佳选择。SHIBAURA KRTC-11A还具有晶圆映射功能,可用于检查每个加工晶圆的全局和局部地形,以获得最高精度。此外,该型号设计易于维护和维修,并得到东芝可靠的服务和支持网络的支持。总体而言,KRTC-11A旨在提供经济高效的解决方桉,以实现单个晶圆过程的最终精度和可重复性。其快速的加工速度、坚固的构造和用户友好的界面使其成为晶圆研磨、研磨和抛光的理想选择。
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