二手 VEECO / ADVANCED IMAGING Custom #9122392 待售

VEECO/ADVANCED IMAGING Custom （AIC）是一种集成的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足半导体器件研究和生产的要求。它是一个最先进的晶圆晶圆厂处理系统，旨在提供质量控制、成本节约和提高生产率。AIC单元可实现精确的光洁度特性,具有均匀的平整度和非常低的粗糙度。它利用具有完全自动化功能的单一交钥匙机包,并内置自动卡带加载和处理。AIC流程窗口经过优化,能够严格控制流程时间和设置。它还包括一个独特的晶圆支架工具和可调节的工艺头，自动调整到晶圆直径以获得最佳性能。AIC资产由机械磨削和抛光模型、基于软件的运动和过程控制器以及视觉和过程监控设备三大部分组成。机械系统提供精确的研磨和抛光操作，具有很高的精度。软件用于控制设备的运动和自动过程控制。最后一个组件，视觉和过程监测机，在生产过程的各个阶段提供晶圆表面的详细图像。机械工具包括变速电机、卡盘、真空资产以及可调节的磨削和抛光头。它支持干法和湿法加工，在操作过程中能够改变研磨和抛光参数。该模型还具有研磨和高压研磨工艺的选项。AIC设备中使用的基于软件的控制器高度自动化和用户友好。软件允许用户控制过程的各个方面，如抛光压力、速度、方向和持续时间。控制器还提供了可调参数,可根据特定功能和需求调整过程。AIC单元中的视觉和过程监控系统使用了广泛的光学和非接触仪器来检测和监控过程变量。该机器用于在整个制造过程中提供晶圆表面的实时视觉反馈。这使得流程优化能够确保可重复性和最高效率。AIC工具被设计为提供高效、精确和可靠的半导体器件处理的多合一资产。凭借其集成的模型,AIC设备提供了卓越的质量性能、较低的总拥有成本以及显着缩短的制造过程。