二手 VEECO / ADVANCED IMAGING Robo 4 #9241333 待售

VEECO/ADVANCED IMAGING Robo 4是一款最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足晶圆远端切割、加工和抛光深度成像应用的最严格要求。它是一个模块化的系统,可以利用其易于配置的界面进行定制,以适应任何生产过程。VEECO Robo 4旨在提供对速度、压力、物料去除和过程监控等过程参数的卓越控制。它具有强大的5轴运动控制器和具有5个不同转子的高速多轴运动单元，允许精确的过程控制。该机包括晶片的自动数控装卸，以及晶片对准和背面清洗能力。它还包括一个可编程的Z轴级，用于加工和/或抛光后的晶片处理。ADVANCED IMAGING ROBO 4以其卓越的精度、准确性和可重复性提供卓越的过程鲁棒性,同时保护晶圆免受热、机械和化学损坏。Robo 4的机械设计确保了工艺环境的最高精度和稳定性。可编程压力调节和空气流量限制控制为介质选择和研磨动力学提供了最大的灵活性。VEECO/ADVANCED IMAGING Robo 4还提供了卓越的工艺控制，使用户能够实时监控和调整所有工艺参数。过程中监控工具允许无传感器、实时控制过程参数,如介质去除、研磨压力和表面光洁度。使用温度控制器和环境过滤器保护资产免受热、机械和化学损坏。VEECO Robo 4为晶圆研磨、研磨和抛光应用提供了无与伦比的性能和可靠性。它具有先进的自动化、卓越的过程控制和一致的质量，非常适合大批量生产和可重复的过程。该模型是晶圆研磨、研磨和抛光等最苛刻的深度成像工艺的理想选择。