二手 VOUMARD 5A #9350280 待售
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ID: 9350280
Universal internal grinding machine
Grinding diameter: 5-200 mm
Grinding depth: 250 mm
Center height: 260 mm
Swing: 300 mm
Work piece length: 500 mm
Spindle taper: 70 m
Work head speed: 125-1000 RPM
Work head swivel: 90°
Table feed: 0-10 m / min
Spindle speed: 3600 - 40000 RPM
Spindle diameter: 90 mm.
VOUMARD 5A是用于生产MEMS、SOI、BiCMOS、ASIC等设备的固定式全自动晶圆研磨、研磨抛光设备。该系统采用一对在双腔室中工作的石英晶片载流子,以及一个6轴机器人机械手,能够生产出表面粗糙度为1 μ米、精度为50纳米的零件。该装置的核心是一台精密的低磨料磨床,它利用柔性磨料介质来加工晶片。研磨过程是模块化的,允许不同类型的研磨过程。这样就得到了一致的表面光洁度,减少了晶片的磨损。5 A还采用了先进的研磨工具,它使用研磨膏进一步细化晶圆的表面。这样可以使晶片达到高均匀性和表面粗糙度值。资产还有一个抛光模型,它利用了一个名为Quick-pass的专用抛光应用程序。这是用来为晶圆表面提供高度光泽的光洁度。VOUMARD 5A是一种高效、精密的设备,能够在短时间内生产高质量的设备。它还设计用于降低总体成本,因为它旨在减少时间、维护和能耗。所有这些功能的结合使5A成为生产MEMS、SOI、BiCMOS和ASIC设备的理想选择。
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