二手 WILSON / ROCKWELL 6838 #9293081 待售

WILSON/ROCWELL 6838是一种高性能、多任务的晶片研磨、研磨和抛光设备,旨在实现高效的单级和多级晶片处理。这种多功能设备非常适合复杂的互连和其他薄晶圆应用。WILSON 6838系统由两个主要组件组成：研磨/抛光卡盘和旋转索引表。卡盘是一个独立的气动加载装置，它安装在一个万向架携带DUST-TIGHT®晶圆悬挂环。这种卡盘采用独特的空气加载单元，在晶片上保持恒定的张力，确保晶片的整个表面积得到完整的处理。卡盘具有可变频率驱动器（VFD）,可实现高达3000的rpm控制。它还具有自动项圈功能和用于晶圆传输的集成真空机。旋转索引表最多可容纳8个独立的晶片架，排列成一圈，每次操作递增旋转晶片，允许晶片两侧进行多次操作。它采用由精确定时资产驱动的步进电机工具进行精确的索引，以便所有处理步骤都能准确进行。该模型还包括一个最先进的晶圆悬挂设备，由高度和枢轴可调节的多级变速传递机器人和单臂铰接机械臂组成，可以手动控制，也可以与计算机控制系统连接。这允许在抛光过程中高精度加载和处理晶片。ROCKWELL 6838单元的组件毫不费力地整合了尖端工程技术，允许精确且可重复的晶圆研磨、研磨和抛光操作。它为研发和小规模制造过程提供了最佳解决方桉，使其成为半导体和其他行业人员的首选。其高效的晶圆处理解决方桉减少了与手动操作相关的时间和成本。在精度方面，这台机器提供了最小的表面粗糙度和令人印象深刻的基板均匀性。