二手 YOKOGAWA / MUSASHINO ELECTRIC CS-203 #9311813 待售
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横川/武藏野电气CS-203是一种用于精密工程和半导体制造的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这台机器结合了计算机辅助制造的最新进展,采用了紧凑、全自动的设计。YOKOGAWA CS-203能够在直径不超过200 mm的硅片上对平面和曲面进行有效的研磨、研磨和抛光,从而实现高生产率。武藏野电气CS-203从放置在支撑板上的晶片开始。然后用金刚石轮对晶圆进行预磨,可以调整以达到所需的轮廓。然后将晶片移动到金刚石整理轮上。车轮能够实现纳米级表面饰面,适用于精密电子和半导体生产。然后使用研磨工艺进一步细化晶片的光洁度。金刚石垫用于磨料浆料,以严格控制光洁度.然后使用抛光工艺来获得表面平面度以及镜面光洁度。CS-203采用精密抛光头和可调节抛光喷嘴。浆料进料系统可以精确调整抛光压力和优化压力输送,以达到均匀的效果。一旦达到所需的光洁度,浆液就被去除,晶圆被清洗去任何抛光残留物。YOKOGAWA/MUSASHINO ELECTRIC CS-203易于编程和操作,并具有易于使用的位置设置、控制和监控系统。此外,该机器能够快速、可重复地设置和处理作业,并且只需进行最少的机械更改。手臂的运动和磨削的转速具有可调的转速范围,以便获得最佳效果。内置的自动调谐单元允许机器自动设置参数并将结果存储在机器内存中,从而允许在运行之间快速设置。横川CS-203是高精度晶圆研磨、研磨、抛光的理想选择。MUSASHINO ELECTRIC CS-203易于编程和操作,设置时间快,结果精确,为精密工程和半导体生产的高挑战性需求提供了可靠、经济高效的解决方桉。
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