二手 YOKOGAWA / MUSASHINO ELECTRIC MA 400D #9215189 待售

YOKOGAWA/MUSASHINO ELECTRIC MA 400D是晶圆研磨、研磨抛光设备，非常适合半导体应用。它旨在确保晶片形状的精确度和质量，具有很高的生产率和一致性，以及出色的操作员安全性。YOKOGAWA MA 400D能够处理范围广泛的晶圆尺寸，从200毫米和300毫米方晶圆到400毫米圆晶圆。这个完全集成的系统包括研磨和研磨部分，以及抛光部分。研磨部分由变速砂纸研磨轮、收集尘埃的真空刷和用于一致研磨结果的专用冷却装置组成。研磨部分包括变速的大型平板研磨板、用于晶片快速装卸的真空辅助板式装载机，以及用于保持温度一致的专用冷却装置。最后，抛光部分由一个变速的扁平旋转抛光轮、一个控制抛光膜温度的专用吹风机，以及一个收集抛光工艺产生的灰尘的专用真空控制台组成。此外，武藏野电气MA-400D设计方便操作维护。该工具配备了专用的触摸屏控制器和图形显示屏，用于简单的设置和操作，以及颜色编码的布线资产，以简化诊断。它还包括一个可选的数据收集模型，允许长期的流程跟踪和数据分析，以实现最大的流程稳定性。总体而言，横川MA-400D是一种可靠、高精度的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它具有多种功能,可确保可重复和一致的结果,并且易于操作和维护,非常适合用于半导体应用。