二手 ADE / KLA / TENCOR ASC #9005900 待售

ID: 9005900
Controller ADE 9300 config.
ADE/KLA/TENCOR ASC是晶圆处理器,用于半导体加工。它利用一种独特的传输设备,使基板能够始终如一地准确地送入和送出各种工具,如模具粘合器、电线粘合器、抄写器、蚀刻器、切割器,以及用于半导体器件装配的许多其他设备。ADE ASC是一款完全可配置的晶圆处理器,专为半导体行业而设计。处理程序具有模块化设计,可根据应用程序轻松更改和/或定制各种部件。它具有一个传输系统,提供高度准确和一致的基板传输。这种转移单元的设计方式可以减少元件尺寸的变化,使其能够快速准确地移动。处理程序还配备了一个输送机机构,用于自动进料和加工晶片。它具有线性和三维运动的能力,为各种基板加载能力提供了灵活性。输送机机构还能够感应晶圆中的厚度变化,并自动调整其速度以补偿它们。KLA ASC还配有激光扫描仪,用来识别晶圆,以便将其精确定位在处理程序上。此外,扫描仪设计用于检测晶圆表面上存在的任何缺陷或颗粒。此外,处理程序还配备了自动更换工具的设备,使其能够处理多个工具,而无需在它们之间手动切换。这是处理大量晶片的一个特别有用的功能,因为它大大加快了过程并降低了人工成本。最后,TENCOR ASC配备了静电和静电保护机。此工具有助于确保晶片处理程序正常工作,因为它将检测任何异常电流、过高的静电荷水平和电脉冲,并将立即关闭资产。总之,ASC是一种用于半导体加工的高度先进的晶圆处理程序。它提供了多种功能,使其成为用于生产线的安全可靠的选项。其高度精确一致的基板传输模型和自动化的刀具更换装置对于处理大量晶圆特别有用。此外,它的激光扫描仪和静电和静态保护设备有助于提供安全的操作环境,并确保正在处理的晶片的完整性。
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