二手 ADEPT 550 #174547 待售

ADEPT 550
製造商
ADEPT
模型
550
ID: 174547
Robots.
ADEPT 550是一种高性能晶圆处理器和定位系统,非常适合半导体、光电和MEMS相关晶片的双面处理。这种高度灵活的晶圆处理程序可容纳2到200 mm的晶圆大小,并且可以轻松处理1到4个晶圆。它的占地面积很小,可轻松集成到全自动晶圆工厂中。550利用激光扫描仪在处理操作之前和过程中精确定位和对准晶片。激光扫描仪具有高达5 μ m的可调光学分辨率,使该处理器能够在瞬间内精确测量。此外,ADEPT 550还配备了一个精确的真空头,该真空头通过高度可靠的交互系统和平衡/不平衡的选择控制来移动和固定晶片。这使用户无需重置处理程序即可快速更改和更换晶片。550还具有可供选择的控制器系统,以适应特定的最终用户需求和流程。可用的选项是不锈钢、非磁性或有源磁性控制器系统。每个控制器都可以灵活地更改和修改处理程序,以适应特定的流程请求。这个晶圆处理器还有一个内置的托盘处理器,可以用来储存和检索晶圆。托盘处理程序可方便地访问以快速补充,最多可容纳48个托盘。它还包括用于实时监控和维护活动故障排除的板载诊断程序。ADEPT 550采用耐用、紧凑的车架,提供无振动运动。它由无刷直流电动机提供动力,并装有闭环编码器,以提高精度和可重复性。其灵活的设计使550能够高效集成到现有生产线中,而其直观的用户界面则允许快速详细的参数设置。ADEPT 550最高速度为3平方米/秒,适用于高速应用,是高容量、高产生产工艺的理想选择。此外,该系统支持线路扫描、模式识别、图像处理等广泛应用。此晶片处理程序具有全面的保修和强大的支持选项,可提供可靠的性能和经济高效的解决方桉。
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