二手 ADEPT S800 #9266596 待售

ADEPT S800晶片处理程序是一种全自动线性晶片传输设备,专为外延生长和再生长等高温过程而设计。它提供了一种经济高效的解决方桉,可以以可重复的方式处理多种尺寸的晶片,包括200 mm和300 mm,并具有超低温轮廓可变性和最高精度。S800采用模块化线性设计,可方便地访问零件和组件。它采用开放式封闭式框架设计，没有裸露区域，可在晶圆传输应用中实现精确一致的温度控制。该系统配置有机动线性传输模块、导轨和导轨系统，用于精确的晶圆运动。传输模块配备了高性能、低温无刷电机和用于闭环反馈控制的高分辨率编码器。该装置还配备了一个精密的控制机器，旨在提高温度曲线精度和减少变化。该工具具有集成的基于PC的数据记录和跟踪资产,使操作员能够实时监视和控制晶圆移动、跟踪晶圆温度分布以及分析数据。控制模型可以定制，以满足众多应用的需求，包括半导体、MEMS和3D打印。ADEPT S800提供了多种功能,以方便快速和精确的晶圆传输。自动切割和尺寸检测系统准确地识别晶片并将其放置在传输托盘中。设备还包括动态背压控制、加热的纤维室和不需要惰性气氛的干箱盖。集成的晶圆装载器和卸载器可在同一系统上实现高吞吐量晶圆传输。该单元旨在增加正常运行时间、减少手动操作和提高安全性。S800是用于高温晶片处理应用的可靠且经济高效的解决方桉。凭借其先进的晶圆传输功能,该机器提供了支持许多苛刻过程所需的最高精度、可靠性和可重复性。