二手 AMAT / APPLIED MATERIALS FABS-202 #9166885 待售
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ID: 9166885
Wafer transfer station
APPLIED MATERIALS Endura etcher system
RORZE
Type no: OCRR8151-001-001
(10) Axes
RORZE Robot
Type no: RR700L120-Z30-011
RORZE Robot controller
Type no: CURR-1076-2.
AMAT（应用材料）/AMAT/应用材料FABS-202晶片处理机是一种机动化真空处理设备，设计用于将半导体晶片快速、精确地装入高温船用抽屉和炉中。该系统是生产和实验室制造的理想选择。AMAT FABS-202具有集成真空处理单元,具有可靠的晶圆与卡盘对齐功能。它具有单发晶片装卸能力，可实现快速装填和位置调整，确保精确对准。真空机由可调节的电动机转速控制驱动，允许针对不同的芯片大小和类型定制晶片处理。一个独立的真空工具允许定制的地面规则，促进单个晶片在平台之间的高效移动。APPLIED MATERIALS FABS-202还包括一个"基本规则"函数，可用于设置特定于过程的加载参数，节省时间并提高精度。它还设计为简化晶片加载过程，增加了一个完全可调的停止。这种停止可以调整，以减少晶片进出位置所需的时间，使得平行处理多个晶片成为可能。该单元有一个非常低的轮廓，允许在生产地板容易安装。FABS-202带有一个数字控制的z轴,用于精确控制晶圆高度。其图形用户界面（GUI）允许直观操作和轻松查看参数,使用户能够快速调整设置以获得最佳性能。它还配备了自动感应功能，在炉温超过预设限值时关闭。该资产还包括一个紧急停止按钮，允许用户在紧急情况下关闭模型。AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202可用于多种热过程,包括退火、产生过程窗口、高温损伤测试等。该设备还配备了一系列安全功能，如自动过温保护、下部电动机关闭、EMI屏蔽电动机以及低电平电压断开。此外,AMAT FABS-202已获得CE批准并与ISO 9001标准兼容,使其成为一种功能强大且可靠的设备,可提供最大程度的安全性和可靠性。
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