二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Rorze RR6140 #157593 待售
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ID: 157593
Wafer transfer station
200VAC, 60 Hz
Includes:
RR304L120-123-001 ATM wafer handler robot, 1998 vintage
Controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Rorze RR6140是一种多功能的预对准和晶片处理装置,设计用于对晶片进行高效可靠的处理。它用于晶圆运行和进给系统中的精确传输和索引晶圆。该RR6140是一个全自动单元，具有板载和自主计算机控制，PLC和触摸面板。设备由两个机械臂、一个多轴预对准器、一个晶圆传感系统和一个控制单元组成。其直观的界面提供了对预对齐器和晶圆处理功能的快速、方便的操作访问和控制。RR 6140的六轴机器人手臂分别装有一个大夹持器和一个小夹持器。武器的独立移动提供了全程操作和交付能力，从而能够快速和精确地装卸晶片。根据应用程序的要求,武器可以协同工作或独立工作。多轴预对齐器是RR6140的核心。它旨在检测晶圆位置，为操作员提供与晶圆大小和位置相关的准确数据。该设备利用一个特殊的传感器单元来精确测量晶片的尺寸、方向和偏斜。这些测量结果用于确定晶圆均匀对称的预对准的适当位置。该RR6140针对洁净室操作进行了优化，包括一个400毫米的转运臂，带有防尘密封结构和可拆卸的内板。它还包括一个内置的错误检测机，监控晶圆处理和参数异常。该装置配有一个SMIF室，用于确保晶圆状态。该RR6140符合ISO 13485和CSA认证,旨在保证关键任务晶圆制造操作的长期耐用性和可靠性。该设备经过优化,以与业界最先进的流程环境兼容,并为快速设置和易于实施而构建。总体而言,AMAT Rorze RR6140是一种创新且可靠的晶圆处理解决方桉,能够在晶圆运行和进给系统中准确高效地传输晶圆。其直观的设计和易用性使其成为晶圆制造操作的理想选择。
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